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产品详情
GF80 系列金属密封热质量流量控制器和仪表
提升价值驱动型金属密封应用的性能标准
型号 GF80
对于许多工业和半导体加工过程，性能和成本效率同样重要。GF80 系列金属密封质量流量控制器拥有以下两个特点：设计采用♀与***畅销的 GF100 系列响应速度相同的传感器以及第四代 MultiFlo? 专利技术，该产品***是高性价比运营的正确选择。另外，金属密封的 MFC 拥有 MultiFloTM 多气体/多量程功能所带来的全部优势，原因是可用气体方面没有限制并且由于不会♂发生弹性体氧渗透而提升了气体纯度，同时还由于金属密封件有效期相当长而减少了维护工作量。
特点
- 长期零点稳定性，每年变动小于满量程的 ± 0.5%
- 1 秒内稳定
- 满量←程流速高达 300 slpm
- 全金属密封流路 - 16μ 英寸 Ra 表面处理
- 耐腐蚀 Hastelloy? 传感器可在较低温度下工作，适用于易发生热分解的气体
- 可编程 MultiFloTM 功能 - 一台设备即可满足数千种气体类型和各种量程组合的需求，无需从气路上拆除 MFC 并且不影响精度
- 通过有源温度补偿实现的***温度系数规范
- 内嵌式常规自〗检功能和独立的诊断/维护端口
- 带有 VCR 配件的细线体●设计
- DeviceNetTM、Profibus?、RS-485 和模拟接口
优势
- 1 秒完成流量稳定，消除废气和过程变量影响
- 未采用会发生氧●渗透并且使用一定时间之后需要进行更换的弹性体密封件
- MultiFloTM 精简了过程气体切换操作 — 无ω 需再拆除并重新校准 MFC
- 60 秒内即可完成新气体和/或量程的设定操作
- 测量精度不受温度变化影响
- 可轻松访问诊断端口以实现运行时间***化
- 规格紧凑，可轻松集成至紧张的设备空间内；设备改型的***选择
- 多协议通信接口可简化向现有系统的集∴成操作
应用
- 对翻新后的半导体加工工具中的▓原有 MFC 进行经济***的改型/升级
- 减少六英寸/八英寸半导体工厂的 MFC 库存
- 用于 LED 和功率」器件生产的 MOCVD
- 太阳能/薄膜化学气相沉积 (CVD) 系统
- 分析用 OEM 设备
BROOKS GF80
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