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产品详情
9861 系列高温质量流量控制器和仪表
提升高温流量控制的准确性和效率
型号 9861
布鲁克斯仪器 9861 系列高温热质量流量控制器和仪表专为在高♂温相关苛刻条件下输送可冷凝前♂体和掺杂剂设计，该产品采用高纯度、无泄漏一体化金属流路，可确保兼容所有过程气体和蒸汽。获得专利∏的 IsoSensor? 是一种稳定性极高的流量卐传感器，可兼容加热气体管线和烘干系统中苛刻的环境温度。IsoSensor? 传感器的超低漂移性能可使高温应用无需频繁重新调零和重新校准。
特点
- 超稳定的 IsoSensor? 流量测量专利传感器
- 高纯度流路
- 远程控制电子元件（标配∏两个模拟电子连接器）
- 数字测量』和控制架构
优势
- 传感器稳定性高，可保障超长运行时间、减少维护工作并降低总体拥有成本
- 全金属接液流路可确保气体/蒸汽完整性和纯度
- 包括 20 引脚卡缘连接器和 9/15 引脚“D”连接器，可实现标准化并减①少库存
- 强化准确性和过『程控制
应用
- 光纤制造 - MCVD
- 硅材料半导体器件加※工工艺
BROOKS 9861
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