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M系列∮气体质量流量计
实时完成高精度多元◥流量测量
M系列气体质量流量计同时实时测量质量流量、体积流量、管线压力和管线温度,可用流量量程跨度宽,内置多种▲气体校准,使得这款流量计成为您实验室的明星设备。
准确。流量测量具有NIST可溯源精度,适用于低至满↘量程1/200th的各种气体,还可利用COMPOSER?气体编辑@ 器自定义您自己的气体组成。
使用简单。只要█您打开流量计,流量♀计便能显示您所选工艺设备中的实时流量、压力和温〗度读数。
连接。艾里卡特M系列气体质量流量计默认采用数▽字与模拟两种通讯方式;订购时,可选※择以太网/IP、EtherCAT、DeviceNet、Profibus或Modbus(RTU和TCP/IP)通讯,方便与您的数字工业或实验室网络整合。
性能
可用量程:***0-5000 slpm;***小0-0.5 sccm/0-500 sμlm(欲了解常备量程,请参见零件编号标签)
可调比:200:1(M系列)或者100:1(MS系列)
标准精度(NIST可溯源):±(0.8%读数+0.2%满量程)
高